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国产品牌Wafer晶圆吸笔V2-MW8
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国产V2-MW8真空晶圆吸笔电动吸力大小可调选配4/6/8寸wafer吸笔头

国产V2-MW8晶圆吸笔带有强力真空泵提供不间断吸力,通过气管连接主机和笔杆与吸笔头,根据硅片尺寸可选择更换4/6/8寸wafer晶圆吸笔头,安全拾取转移,简易操作,可通过旋钮调节吸力大小。

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V2-MW8晶圆吸笔主机内置强力真空泵提供不间断的吸力,通过气管连接主机和笔杆与八寸Wafer吸笔头,安全拾取转移,简易操作。铝合金主机外壳,坚固环保,低噪音、携带便捷,可吸取500g重量物体如硅晶圆、玻璃片、太阳能电池板等平面物体,通过旋钮调节吸力大小。可伸缩弹簧气管长度2米,根据硅片尺寸可选择4寸、6寸、8寸晶圆吸笔头,分别对应套装型号V2-MW4、V2-MW6、V2-MW8。如果培训类操作可选择国产产品,产线使用建议购买美国Virtual PEEK晶圆吸笔头,可通用互换。

 

国产V2真空晶圆吸笔使用说明

1、将气管一段连接主机侧面的气孔,另一端连接吸笔杆

2、把Wafers晶圆吸笔头插头笔杆前端并推至尽快固定

3、电源适配器插入100V~240V插座,另一端插入真空泵DC电源孔,打开电源开关

4、预估问题的重量,转动吸力调节旋钮到合适位置

5、握住吸笔杆,将吸笔头轻轻放在晶圆平面上,试着提起晶圆,如已稳固吸取抓住可进行转移到目标位置

6、将硅晶圆转移到指定位置,按压笔杆上的按钮,即可释放物体

7、根据硅片或玻璃片等平面物体的大小、重量选择相应吸盘吸笔头,并调整吸力大小

 

基于成本预算设计,此套装的真空泵主机、气管、笔杆等部件均为国产产品,吸笔头可选择国产或进口品牌,它们规格统一可通用。如果是高价值物体或者对设备要求较高,建议选择美国Vitual真空吸笔,推荐型号:

1、无绳便携型电池式真空晶圆吸笔

VPWE7300AR-MW8八寸真空吸笔,配方形8寸笔头,可现场更换的充电电池,带电量及安全真空度提示灯

VPW6300AR-VWT5R-220-AR晶圆吸笔配圆形吸笔头专用于12英寸wafers拾取,带安全真空度操作提示灯

2、插电台式电动晶圆吸笔

WVE-9000-MW8-220晶圆吸笔,条形真空度显示,确保安全操作安全可靠

AV-5000-MW8-220真空晶圆吸笔,真空度大小可调,主要是用于调小吸力保护铟化镓、氮化镓等脆弱易碎晶圆

Virtual晶圆吸笔头

美国Virtual晶圆吸笔头型号规格

■ PEEK聚醚醚酮材质,模塑加工制成,ESD防静电,耐温100℃,头部厚度0.1寸=2.54mm、手柄长78.74mm

VMWT-A 4寸吸笔头:盘面长*宽=35.56mm x 12.70mm,用于4” (100mm) wafers

VMWT-B 6寸吸笔头:盘面长*宽35.56mm x 33.02mm,拾取转移六寸6” (150mm) wafers晶圆

VMWT-C 8寸吸笔头:盘面长*宽53.34mm x 35.56mm,拾取八英寸(200mm) wafers

VMWT-D方形12寸吸笔头:盘面长*宽78.74mm x 53.34mm,可用于拾取12英寸wafers

特殊扩展型号:

1、弯曲型——如果是在晶圆盒等带槽的容器及直头无法完全接触平面物体的情况下操作,可选10°、20°、30°弯头笔头,在型号后面加入方向及角度代码,如:VMWT-C30D八寸吸笔头弯曲30度下弯

2、加长型——VMWT-B/C/D即6寸、8寸、12寸笔头可加长连接杆长度,由标准长78.74mm扩展到200mm,对应型号分别为VMWT-B-EX200、VMWT-C-EX200、VMWT-D-EX200。

Molded PEEK吸笔头规格说明书http://www.testeb.com/download/201812/Virtual_PEEK_VMWT-ABCD.pdf

■ 高温涂层吸笔头,耐高温250℃,笔头为铝制阳极氧化材质、厚度3.3mm,不锈钢连接杆长度76.20mm

VWT-100075-PF 4寸耐高温吸笔头:长宽尺寸(1.05“ x 0.75") 26.67mm x 19.05mm,适用4” (100mm) wafers

VWT-170110-PF 6寸耐高温吸笔头:长宽尺寸(1.70“ x 1.10") 43.18mm x 27.94mm,用于6” (150mm) wafers

VWT-250125-PF 8寸耐高温吸笔头,长宽尺寸(2.50“ x 1.25") 63.50mm x 31.75mm,吸取8” (200mm) wafers

 

[国产笔杆及吸笔头、加长杆]

WAFER晶圆吸笔

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